平晶表面形狀判斷方法平晶有效直徑范圍內(nèi)平面度的計(jì)算公式為Fd=F1-Fd（1）式中：Fd為被檢平晶有效直徑范圍內(nèi)的平面度，m；Fd為標(biāo)準(zhǔn)平晶在被檢平晶的有效直徑范圍內(nèi)的平面度，m；F1為被檢平晶與標(biāo)準(zhǔn)平晶在被檢平晶有效直徑范圍內(nèi)的平面度的疊加值，其值的正負(fù)需根據(jù)平晶表面形狀的凹凸情況判斷決定（即凸為正，凹為負(fù)），m.研究方向?yàn)榫�密�?jì)量。

　　F1=bda2（2）式中：a為等厚干涉條紋間距，格；bd為被檢平晶過(guò)直徑處等厚干涉條紋的彎曲量，格；為照明光的波長(zhǎng)，m.

　　Fd=d96F96（3）式中：d為被檢平晶的有效直徑，mm；F96為標(biāo)準(zhǔn)平晶在96mm范圍內(nèi)的平面度值，m.

　　計(jì)算Fd時(shí)，F(xiàn)1的符號(hào)必須依據(jù)凹凸判斷給出，F(xiàn)1的符號(hào)判斷方法有幾種：加壓分析判斷法根據(jù)干涉條紋變密還是變疏來(lái)判斷加壓點(diǎn)位置是否是接觸點(diǎn)（變密則加壓點(diǎn)是接觸點(diǎn)，變疏則另一側(cè)是接觸點(diǎn)），最后依據(jù)接觸點(diǎn)和干涉條紋曲率中心位置關(guān)系判斷平晶表面形狀的凹凸情況（如果接觸點(diǎn)與干涉條紋曲率中心位于同一側(cè)，表面為凸，異側(cè)則為凹）。在JJG28-2000平晶檢定規(guī)程附錄D中有如上表述。在實(shí)際操作中必須靈活運(yùn)用，清楚原理，才能準(zhǔn)確判斷。

　　對(duì)于二級(jí)平晶，即平面度較大的平晶，基于被檢平晶與實(shí)驗(yàn)室溫差的試測(cè)分析判斷法具有參考價(jià)值，相對(duì)準(zhǔn)確，盡量采用另一種方法驗(yàn)證，確保判斷結(jié)論正確無(wú)誤。

　　檢定儀器為平面等厚干涉儀1所示的光路，采用鈉單色燈作光源，被檢平晶在上，標(biāo)準(zhǔn)平晶在下。在被檢平晶的下表面與標(biāo)準(zhǔn)平晶的上表面之間調(diào)整出薄空氣楔，在平行光垂直入射時(shí)形成等厚干涉條紋。在Q點(diǎn)加壓空氣楔的楔角增大，干涉條紋變密，Q點(diǎn)為接觸點(diǎn)。

　　檢定儀器為激光平面等厚干涉儀2所示的光路，采用氦氖激光做光源，在標(biāo)準(zhǔn)平晶的下表面與被檢平晶的上表面之間調(diào)整出空氣楔，在平行光垂直入射時(shí)形成等厚干涉條紋。標(biāo)準(zhǔn)平晶的上表面做成斜面，使其反射光偏出視場(chǎng)，不影響等厚干涉條紋。標(biāo)準(zhǔn)平晶的下表面應(yīng)與光軸垂直。

　　采用加壓分析判斷法，對(duì)于激光平面等厚干涉儀，在的光路下，標(biāo)準(zhǔn)平晶在上，而被檢平晶在下，在Q點(diǎn)加壓空氣楔的楔角減小，干涉條紋變疏，Q點(diǎn)為接觸點(diǎn)（并不是前面干涉條紋變密，加壓點(diǎn)就是接觸點(diǎn)、正好相反）。可見(jiàn)，必須理解原理，不能生搬硬套，靈活運(yùn)用原理才能正確判斷。

　　特別需要注意的是加壓點(diǎn)位置應(yīng)以視場(chǎng)內(nèi)加壓工具像的位置為準(zhǔn)，最后依據(jù)接觸點(diǎn)位置和干涉條紋曲率中心位置關(guān)系判斷平晶表面形狀的凹凸情況（如果接觸點(diǎn)與干涉條紋曲率中心位于同一側(cè)，表面為凸，異側(cè)則為凹）。同樣，此時(shí)的凹凸僅是判斷公式（1）中F1的符號(hào)，被檢平晶表面的凹凸判斷應(yīng)以最后平面度計(jì)算結(jié)果Fd的符號(hào)來(lái)決定。

　　采用階躍溫升法，同樣不受被檢平晶平面度大小和不同儀器光路的影響。使用平晶測(cè)量量具或工件表面平面度等厚干涉條紋能夠反映兩表面之間的薄膜的厚度變化情況。利用產(chǎn)生的干涉條紋的形狀、數(shù)量、間距以及條紋的移動(dòng)，來(lái)測(cè)量工件表面的質(zhì)量、表面粗糙度及其局部誤差，還可以測(cè)量物體的微小長(zhǎng)度、角度和位移。

　　例如利用等厚干涉條紋對(duì)微小位移的測(cè)量，可以測(cè)量物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)。利用等厚干涉條紋的數(shù)量變化，可以測(cè)量薄片的厚度、細(xì)絲的直徑等。利用等厚干涉條紋的形狀變化（彎曲量），可以測(cè)量工件表面的平面度和凹凸情況。

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